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序号 公布号 发明名称 公布日期 摘要
1 CN104909332B 制造微机电元件的方法以及该微机电元件 2017.04.12 本发明涉及一种制造微机电元件的方法以及该微机电元件。制造微机电元件的方法包括:由覆盖部件密封微机电芯
2 CN104185792B 加速度传感器结构及其使用 2017.03.29 一种MEMS传感器结构,其包括第一构件和第二构件,所述第一构件和所述第二构件彼此耦合以用于双差分检测
3 CN103168417B 集电器结构及方法 2016.11.30 本发明涉及一种连接到能够重复变形或弯曲的基部(11)的集电器结构(10),还涉及方法。根据本发明,集
4 CN103492836B 弹簧结构、振荡器、振荡器阵列和传感器 2016.04.06 本发明涉及弹簧结构(501),所述弹簧结构具有在第一方向上通过弹簧(Sh1,Sh2)被耦接成反相振荡
5 CN102762954B 改进的微机械共振器 2015.11.25 本发明的目的在于提供一种用于微机电(MEMS)共振器的改进的结构。根据本发明的第一方面,按照本发明的
6 CN104909332A 制造微机电元件的方法以及该微机电元件 2015.09.16 本发明涉及一种制造微机电元件的方法以及该微机电元件。制造微机电元件的方法包括:由覆盖部件密封微机电芯
7 CN101312903B 制造微机电元件的方法以及该微机电元件 2015.04.29 本发明涉及微机电元件,比如用于测量例如加速度、角加速度、角速度或其它物理量的微机电测量仪。本发明的微
8 TWI481817 微机械角速度感测器 2015.04.21
9 TWI481872 微机械振动式角速度感测器 2015.04.21
10 CN102365524B 微机械角速度传感器 2015.01.21 本发明提供一种微机械谐振器,其包括两个质量块,所述两个质量块沿共同轴的方向通过弹性结构而耦合,所述弹
11 CN102369414B 振动型微机械角速度传感器 2014.12.31 本发明涉及一种用于测量角速度的测量仪器,更具体地涉及一种振动型微机械角速度传感器。本发明的角速度传感
12 CN104204815A 耐振动的加速度传感器结构 2014.12.10 一种MEMS结构,它包括锚固件(1)、弹簧(2)和震动块(3),所述震动块(3)通过所述弹簧而被悬挂
13 CN104185792A 加速度传感器结构及其使用 2014.12.03 一种MEMS传感器结构,其包括第一构件和第二构件,所述第一构件和所述第二构件彼此耦合以用于双差分检测
14 CN102066874B 振动型微机械角速度传感器 2014.08.27 本发明涉及用于测量角速度的测量装置,更具体地,涉及振动型微机械角速度传感器。本发明的角速度传感器适于
15 CN103765579A 系统级封装器件的制造方法和系统级封装器件 2014.04.30 本发明涉及制造系统级封装器件的方法以及系统级封装器件。在该方法中,将至少一个具有预定尺寸的第一类管芯
16 CN103582859A 指向方法及用于指向方法的装置和系统 2014.02.12 本发明涉及用于控制具有角速度传感器的指向装置的方法,其包括:针对维度空间的每个相互正交的单位向量的方
17 CN101919159B 微机械谐振器 2014.01.08 本发明涉及微机械谐振器的设计,更准确地涉及微机电系统(MEMS)谐振器的设计。本发明提供了一种微机电
18 CN103492836A 弹簧结构、振荡器、振荡器阵列和传感器 2014.01.01 本发明涉及弹簧结构(501),所述弹簧结构具有在第一方向上通过弹簧(Sh1,Sh2)被耦接成反相振荡
19 CN103168417A 集电器结构及方法 2013.06.19 本发明涉及一种连接到能够重复变形或弯曲的基部(11)的集电器结构(10),还涉及方法。根据本发明,集
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